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直線電機在液晶基板薄膜紋路檢驗、修復裝置用

作者：Mosen摩森機電 日期：19/02/20 10:44 瀏覽：202

檢驗液晶基板內幾十um厚度的薄膜紋路，根據需要用激光照射來清除微小紋路的修復系統?？杉庸ご笮鸵壕Щ?，設備整體為龍門式結構。另外，在加工頭上裝有高倍攝像頭，用于確認加工情況。

直線電機的應用

直線電機以及間距誤差修正帶來的高剛性龍門驅動
增益調整功能同時確保加工時（低速）的XY直線插補的軌跡準確，以及快進（高速）時的穩定性。
加工時的魯棒干擾控制功能可抑制電纜干擾引起的速度波動

直線電機平臺YYX軸

雅科貝思直線電機平臺

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